Что такое титановая мишень?
Титановая мишень — это титановый материал высокой-чистоты (содержание Ti не менее 99,5 %), используемый в системах PVD и напыления для нанесения тонких пленок на основе титана или титана- на подложки.
Он производится посредством передовой плавки, ковки и прецизионной механической обработки для достижения высокой плотности, мелкозернистой структуры и стабильных характеристик распыления.
Они обычно используются в производстве полупроводников, ЖК- и OLED-дисплеях, электродах памяти, оптических покрытиях и декоративных PVD-покрытиях, поскольку обеспечивают отличную адгезию пленки, устойчивость к коррозии и однородность покрытия.
Физические и химические свойства Ti-мишеней
|
Свойство |
Типичное значение |
|
Плотность |
4,50 – 4,52 г/см³ |
|
Точка плавления |
1668 ± 5 градусов |
|
Чистота |
99.5% – 99.99% (2N5 – 4N) |
|
Тепловое расширение |
8.6 × 10⁻⁶ / K |
|
Микроструктура и внутреннее качество |
Плотность больше или равна 99,5 %. Однородная мелкозернистая-структура Нет расслоения Без видимых включений Отсутствие пор и трещин |
|
Упаковка |
Вакуумная упаковка + влагопоглотитель + ударостойкий-деревянный корпус |
|
Время выполнения |
2–4 недели для большинства размеров |
Диапазон целевых размеров Ti
Плоские и круглые мишени
|
Тип |
Толщина |
Ширина / Диаметр |
|
Прямоугольная мишень |
Больше или равно 0,125 дюйма |
Меньше или равно 12 дюймам |
|
Круглая мишень |
Больше или равно 0,125 дюйма |
1,0–21,0 дюйма (25,4–533,4 мм) |
|
Трубчатая мишень |
Больше или равно 0,125 дюйма |
Меньше или равно 12 дюймам |
Шероховатость поверхности
- Поверхность распыления: Ra Меньше или равна 1,6 мкм.
- Не-поверхность распыления: Ra Меньше или равна 3,2 мкм.
Контроль качества и инспекция
- Анализ химического состава
- Испытание механических свойств
- Размерный и визуальный контроль
При необходимости вы можете получить:
- Сертификат заводских испытаний (MTC)
- Отчеты об инспекциях
Возможности пользовательских титановых мишеней
Вы можете полностью настроить цели:
1. Параметры чистоты
От 99,5% до 99,999%
2. Размер и толщина
- Поддерживаются не-стандартные размеры
- Минимальная толщина обработки: 1 мм
3. Контроль размера зерна
- Контролируется термической обработкой
- Доступен размер зерна 20–200 мкм.
4. Связанные цели
Вы можете выбрать опорные пластины:
- Медь (Cu)
- Алюминий (Al)
- Молибден (Мо)
5. Отделка поверхности
Поворот,Шлифование,Полировка,Пескоструйная обработка
6. Сложные формы
Ступенчатые мишени,Сегментировать-связанные цели,Специальные контуры
Часто задаваемые вопросы по титановой мишени
Можно ли использовать титановую мишень для распыления при высокой-температуре или высокой-мощности?
Да.
Ти-мишени высокой-чистоты подходят для большинства-высокотемпературных распылений.
Для экстремальных энергетических нагрузок или непрерывного промышленного производства мишени класса 5 (Ti-6Al-4V) обеспечивают более высокую механическую прочность и термическую стабильность.
Могут ли титановые мишени для распыления экспортироваться на международный рынок?
Да.
Вы можете отправить товар по воздуху, по морю или экспресс-почтой (DHL, FedEx, UPS).
Вся экспортная упаковка защищена от-ударов, влаги-и окисления-.
В чем разница между мишенями и мишенями из титана PVD?
Титановые PVD-мишени оптимизированы специально для высокоточного-напыления, обеспечивая более высокую эффективность осаждения и однородность пленки. Стандартные мишени более универсальны и подходят для более широкого спектра промышленных покрытий, хотя и не всегда оптимизированы для систем сверх-высокой-точности PVD.
Производственный процесс
горячая этикетка : титановые мишени, Китай титановые мишени производители, поставщики, завод