Мишени для распыления чистого титана

Мишени для распыления чистого титана изготавливаются из титановых слитков, расплавленных в вакууме-(класса 1, класса 2 и высокой-чистоты от 3N5 до 5N) путем строгой термо-механической обработки, включая разнонаправленную-ковку, прецизионную прокатку и контролируемый отжиг. Эти мишени, разработанные для систем магнетронного распыления и HIPIMS, обеспечивают стабильную скорость осаждения, подавление образования узелков и низкий уровень образования частиц на линиях непрерывного производства тонких пленок.

Классы чистоты:Класс 1 по ASTM (TA1), Класс 2 по ASTM (TA2), высокая чистота (от 99,95% до 99,999%).
Плотность:>= 4.51 g/cm3 (Measured via Archimedes method, achieving >99,5% теоретическая плотность)
Размер зерна:Средний размер зерен < 100 мкм с однородной равноосной микроструктурой по всей трассе эрозии (проверено согласно ASTM E112)

Межузельные примеси (типичные):

• Кислород (O): < 0,08 % (класс 1) / < 0,002 % (высокая чистота)
• Железо (Fe), углерод (C), азот (N), водород (H) контролируются в строгих пределах ASTM/SEMI.

Размеры и геометрия:

• Плоские: Длина до 3000 мм, толщина 3 мм - 20 мм.
• Поворотный: внешний диаметр до 180 мм, длина до 3500 мм.
• Опорные пластины: бескислородная-медь (OFC), алюминиевый сплав или титан.
• Обработка поверхности: Ra < 0,8 мкм,-очищена кислотой, высушена и-запечатана в вакууме.

Равноосная мелкозернистая-микроструктура:Контролируемая многопроходная-горячая/холодная прокатка и рекристаллизационный отжиг устраняют крупнозернистые зоны, предотвращая локальный перегрев мишени и неравномерные профили эрозии.
Низкое содержание внутриклеточного газа:Обработано методом вакуумной индукционной плавки (VIM) или вакуумно-дуговой переплавки (VAR) для минимизации остаточных газовых элементов, эффективного подавления микро-дуг и напряжения пленки.
Высокая термическая стабильность:Сохраняет структурную целостность при высокой-плотности мощности во время импульсного-импульсного магнетронного распыления высокой мощности (HIPIMS).
Надежный термоинтерфейс:Коэффициент пустот при склеивании поддерживается ниже 1 % по всей площади интерфейса, что подтверждено ультразвуковым не-разрушающим контролем.

Полупроводники и микроэлектроника:Барьерные слои, клейкие слои и затравочные слои для интегральных схем, силовых устройств и МЭМС.
Оптические покрытия:Анти-антиотражающие (AR) покрытия, оптические интерференционные фильтры и вспомогательные слои прозрачного проводящего оксида (TCO).
Плоская панель и технология отображения:Тонкопленочные транзисторные жидкокристаллические дисплеи (TFT-LCD) и металлизация электродов OLED.
Декоративное и износостойкое-покрытие PVD:Твердая, долговечная функциональная отделка архитектурного стекла, автомобильной отделки и фурнитуры.

Внутренняя-цепочка обработки:Полный контроль производства: от разделения необработанных слитков, вакуумной плавки и термической ковки до линий обработки и склеивания с ЧПУ.
Геометрический крой:Обработка нестандартных профилей, скошенных кромок, специальных каналов охлаждения и сложных монтажных конфигураций на основе конкретных чертежей камер PVD.
Технология склеивания:Индиевая, эластомерная и диффузионная сварка, адаптированная к заданным коэффициентам теплового расширения-и-поддерживающей пластины.
Гибкость мощности:Серийное производство структурировано так, чтобы обрабатывать как отдельные детали научно-исследовательских прототипов, так и много-тонные непрерывные производственные кампании.

Прослеживаемый контроль партий материалов:Каждую мишень можно отследить до исходной партии слитков,-выплавленных в вакууме, с журналами плавки и записями о термической обработке.
Стандарты аналитического тестирования:
Металлические примеси анализируются с помощью ICP-MS (масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой) в соответствии со стандартами ASTM.
Примеси газа (O, N, H, C) проверены с помощью анализаторов плавления инертных газов LECO.
Не-неразрушающий контроль и контроль размеров:Ультразвуковое C-сканирование целостности соединения; Координатно-измерительные машины (КИМ) для строгой проверки допусков размеров и плоскостности.
Соответствие и документация:Произведено в соответствии с сертифицированной системой управления качеством ISO 9001. Каждая партия включает в себя -сертификат анализа (CoA) конкретной партии и отчет об испытаниях неразрушающего контроля.

Упаковка для чистых помещений:Очищено в контролируемой среде,-упаковано в вакуумные-прочные антистатические полиэтиленовые пакеты с заполнением инертным газом аргоном и покрыто слоем-поглощающей пены.
Транспортная защита:Упаковано в-бесплатные деревянные экспортные ящики для фумигации, оснащенные по запросу индикаторами контроля ударов и наклона.
Время выполнения:2 недели для стандартных размеров по каталогу; От 3 до 4 недель для изготовленных на заказ-механизированных или клеевых сборок.

Укажите степень чистоты (99,9% - 99.999%), размеры, количество, характеристики опорной пластины и модель целевой камеры, чтобы получить техническое предложение и коммерческое предложение в течение 24 часов.

горячая этикетка : Мишени для распыления чистого титана, Китай Мишени для распыления чистого титана производители, поставщики, завод