Обзор продукта
Титановые мишени для распыления — это расходные материалы высокой-чистоты, используемые в системах физического осаждения из паровой фазы (PVD) для нанесения тонких пленок титана или его соединений-на подложки. Наши мишени, разработанные для обеспечения равномерной скорости распыления и минимального образования дефектов, поддерживают высокомощное импульсное магнетронное распыление (HIPIMS) и магнетронные установки постоянного/частотного тока на линиях полупроводниковых, оптических и декоративных покрытий.
Технические характеристики
|
Параметр |
Диапазон спецификации |
|
Материальная чистота |
От 99,9% (3N) до 99,999% (5N) |
|
Стандартные оценки |
ASTM B348, класс 1/класс 2 (CP Ti), титановые сплавы (например, TiAl, TiSi) |
|
Плотность |
>= 4.51 g/cm3 (>Теоретическая плотность 99,5%, измеренная по принципу Архимеда) |
|
Средний размер зерна |
< 100 um (fine, equiaxed microstructure) |
|
Размеры (плоские) |
Длина до 3000 мм, Ширина до 800 мм, Толщина 3-25 мм. |
|
Размеры (поворотный) |
Внешний диаметр до 400 мм, длина до 4000 мм. |
|
Опорная пластина |
OFHC Медь (C10200/C11000) или алюминий (6061) |
|
Технология склеивания |
Индиевая связь, эластомерная связь или диффузионная связь (степень пустот < 1%) |
Ключевые особенности
Тонкая микроструктура
Контролируемая термо-механическая обработка обеспечивает средний размер зерен менее 100 мкм, что обеспечивает равномерные профили эрозии и предотвращает преимущественное распыление.
Контроль чистоты газа
Процессы вакуумной индукционной плавки (ВИМ) и электронно-лучевой плавки (ЭЛП) сводят к минимуму содержание межузельных газовых примесей (O, N, H, C).
Склеивание с высокой теплопроводностью
Диффузия или связывание индия с медными опорными пластинами OFHC предотвращает коробление мишени и преждевременное растрескивание под воздействием плазменного разряда высокой-плотности.
Низкое образование частиц
Высокая плотность и отсутствие внутренних микро-пустот подавляют образование дуг и образование узелков при длительном нанесении покрытия.
Приложения
Полупроводники и микроэлектроника
Нанесение барьерных слоев, контактных слоев и затравочных слоев межсоединений при изготовлении ИС.
Плоские дисплеи (OLED/LCD)
Формирование проводящих и пиксельных слоев тонкопленочных транзисторов (TFT).
Оптические покрытия
Анти-антиотражающие (AR) покрытия, фильтрующие слои и производство архитектурного стекла Low-E.
Износостойкие-твердые декоративные и декоративные покрытия
Нанесение TiN, TiCN и TiAlN на режущие инструменты, автомобильные компоненты и сантехническое оборудование.
Маршрут производства:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Склеивание.
Пользовательские возможности:Нестандартная геометрия (прямоугольная, круглая, сегментированная, вращающаяся), индивидуальная конструкция охлаждающих каналов опорной пластины и особые требования к ориентации зерна.
Собственная-механическая обработка:Фрезерование и токарная обработка на станках с ЧПУ обеспечивают допуски размеров в пределах +/- 0.1 мм и шероховатость поверхности до Ra 0,4 мкм.
Контроль качества и сертификаты
Аналитическое тестирование
Масс-спектрометрия в тлеющем разряде (GDMS) для анализа микроэлементов; Газоанализаторы LECO для количественного определения кислорода, азота и водорода.
Структурная инспекция
Ультразвуковой контроль (UT) проводится на 100% соединенных мишенях для проверки целостности соединения и обнаружения пустот на границе раздела.
Прослеживаемость
Каждая мишень поставляется с сертификатом анализа (COA), в котором подробно указана точная чистота партии, разбивка по примесям на миллион и результаты испытаний на плотность.
Упаковка и доставка
Упаковка
Вакуумная-запечатанная в анти-полиэтиленовые пакеты, упакованная в амортизирующий-пеноматериал внутри усиленных деревянных ящиков экспортного-класса для предотвращения окисления и механических повреждений при транспортировке.
Время выполнения
От 2 до 3 недель для стандартных плоских размеров; От 4 до 6 недель для индивидуальных вращающихся или диффузионно-скрепленных-конфигураций.
Условия доставки
FOB, CIF или DDP воздушным или морским транспортом.
Часто задаваемые вопросы
Запросить цену
Чтобы получить техническое предложение и расценки на вашу конкретную систему осаждения, укажите модель вашей системы PVD, требуемую чистоту, размеры и расчетное количество. Наша команда инженеров ответит в течение 24 рабочих часов и сообщит о наличии материалов и графиках доставки.
Мы являемся профессиональными производителями и поставщиками мишеней для напыления титана в Китае, специализирующимися на предоставлении высококачественного индивидуального обслуживания. Пожалуйста, не стесняйтесь покупать титановые мишени для распыления со скидкой на складе здесь и получать бесплатный образец на нашем заводе. Для консультации по цене свяжитесь с нами.