Обзор продукта
Круглые титановые мишени для распыления служат-исходным катодным материалом высокой чистоты для систем магнетронного распыления и физического осаждения из паровой фазы (PVD). Эти круглые мишени, изготовленные из титановых слитков, расплавленных в вакууме-, обеспечивают однородную микроструктуру, обеспечивающую стабильный плазменный разряд, предсказуемую скорость роста тонких-пленок и постоянную электропроводность на линиях полупроводникового, оптического и декоративного нанесения покрытий.
Технические характеристики
|
Чистота |
1 степень (99,5%), 2 степень (99,7%), 99,9% (3Н), 99,95% (3Н5), 99,99% (4Н), 99,995% (4Н5) |
|
Стандартные диаметры |
От 2 до 16 дюймов (нестандартные размеры доступны по запросу) |
|
Диапазон толщины |
от 3 мм до 20 мм |
|
Микроструктура |
Средний размер зерен < 100 мкм с равноосным распределением зерен. |
|
Плотность |
> 4.51 g/cm3 (>99,5% теоретическая плотность) |
|
Материалы опорной пластины |
Медь (OFHC), бескислородная-медь или алюминий (доступны связующие из индия или эластомера) |
|
Поверхностная обработка |
Обработанные, притертые или отполированные (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed |
Ключевые особенности
Мелкий и равномерный размер зерна:Контролируемая термо-механическая обработка предотвращает локальный перегрев, уменьшая образование частиц и точечные дефекты во время-напыления с высокой мощностью.
Низкие примеси газа:Контролируемые уровни кислорода, азота, углерода и водорода минимизируют возникновение микро-дуг внутри вакуумной камеры.
Высокая прочность металлургического соединения:Ультразвуковое сканирование подтверждает > 95% покрытия сцепления между титановой целевой плиткой и медной опорной пластиной, обеспечивая оптимальную термическую и электрическую передачу.
Точные размерные допуски:Обработка на станке с ЧПУ обеспечивает допуски по внешнему диаметру и толщине в пределах +/- 0.1 мм для точной подгонки системы.
Приложения
Полупроводники и микроэлектроника:Нанесение затворных электродов, диффузионные барьеры и затравочные слои для интегральных схем.
Оптические покрытия:Анти-антибликовое (AR) покрытие, оптические фильтры и усовершенствованные линзы.
Архитектурное и автомобильное стекло:Покрытия с низким-излучением (Low-E) и солнцезащитные пленки для энергосберегающего-остекления.
Декоративное и износостойкое-покрытие PVD:Функциональные слои нитрида титана (TiN) или карбо-нитрида титана (TiCN) для аппаратных средств, наручных часов и режущих инструментов.
Кастомизация и производство
В производстве используется вакуумная индукционная плавка (ВИМ), вакуумно-дуговая переплавка (ВДП), многонаправленная ковка и прецизионная прокатка. Этот маршрут обработки разрушает литые конструкции для устранения внутренних усадочных полостей.
Пользовательские геометрии:Ступенчатые края, фаски, резьбовые отверстия для охлаждения и не-стандартные диаметры соответствуют конкретным катодным пушкам (например, Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Услуги по склеиванию:Соединение индием и эластомером, выполненное-на месте, позволяет выдерживать высокую плотность мощности без термического разрушения.
Контроль качества и сертификаты
Химический анализ:Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой (ICP-MS) и масс-спектрометрия тлеющего разряда (GDMS) проверяют концентрации следов металлов и межузельных элементов. Каждая партия поставляется со специальным сертификатом анализа (CoA).
Не-Неразрушающий контроль (NDT):Ультразвуковой C-сканирование позволяет оценить целостность соединения между мишенью и опорной пластиной, выявить внутренние пустоты или расслоения.
Металлографическое исследование:Оптическая микроскопия подтверждает гранулометрический состав и фазовую однородность.
Соответствие стандартам:Изготовлено в соответствии с системой менеджмента качества ISO 9001:2015.
Упаковка и доставка
Первичная упаковка:Вакуумные-двойные полиэтиленовые пакеты для чистых помещений, наполненные инертным газом аргоном.
Вторичная упаковка:Подвесные формы из амортизирующего-пенопласта EPE, помещенные в прочные-экспортные фанерные ящики для предотвращения сколов кромок и царапин на поверхности во время транспортировки.
Документация включена:Сертификат анализа, паспорт безопасности материала (MSDS) и отчет о проверке размеров.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Какой уровень чистоты следует выбрать для оптических применений по сравнению с декоративным PVD?
О: Для оптических тонких-пленочных материалов обычно требуется чистота 99,99 % (4N) или выше, чтобы исключить следы металлических включений, вызывающих поглощение или рассеяние света. Линии декоративного покрытия, обрабатывающие функциональные слои, такие как TiN, обычно используют чистоту 99,9% (3N), чтобы сбалансировать стабильность осаждения и экономическую эффективность материала.
Вопрос: Как предотвратить растрескивание мишени во время-импульсного магнетронного распыления высокой мощности (HiPIMS)?
Ответ: Целевое растрескивание предотвращается за счет строгой многонаправленной ковки и поперечной-прокатки, которые обеспечивают полностью рекристаллизованную мелкозернистую структуру с размером частиц менее 100 мкм. Эта однородная кристаллическая ориентация равномерно распределяет термическое напряжение при высоких плотностях мощности.
Вопрос: Какова максимальная плотность мощности для связанных целей по сравнению с несвязанными монолитными целями?
Ответ: Несвязанные монолитные мишени обычно имеют более низкую плотность мощности из-за термического сопротивления в воздушном зазоре между мишенью и подложкой катода. Склеенные мишени, в которых используется интерфейс из индия или эластомера, могут выдерживать более высокие нагрузки (более 15 Вт/см2) при условии поддержания эффективного потока охлажденной воды.
Вопрос: Можете ли вы сопоставить индивидуальные чертежи опорной пластины с устаревшими или запатентованными системами напыления?
А: Да. Производство позволяет изготавливать опорные пластины по индивидуальному заказу. Инженеры проверяют чертежи STEP, IGES или 2D PDF на предмет соответствия конкретным конфигурациям водных-каналов, расположению канавок для уплотнительных колец и требованиям к схеме расположения болтов-.
Вопрос: Какие методы тестирования проверяют целостность соединения спаянных мишеней?
О: Ультразвуковой C-сканирование не-неразрушающего контроля проверяет весь интерфейс соединения. Любая локализованная несклеенная область или пустота, превышающая 5% от общей площади поверхности, или любая одиночная пустота размером более 5 мм приводит к браковке.
Вопрос: Каково стандартное время выполнения заказов на прототипы и производственные партии?
О: Стандартные размеры товара доставляются в течение 3–5 рабочих дней. Для изготовленных по индивидуальному заказу-мишеней или клееных сборок требуется от 2 до 3 недель, в зависимости от наличия материала и сложности конфигурации опорной пластины.
Запросить цену
Отправьте целевые характеристики (чистота, размеры, количество, требования к опорной пластине и модель целевого катода), чтобы получить официальное предложение и паспорт материала в течение 24 рабочих часов.
горячая этикетка : круглые мишени для распыления титана, Китай круглые мишени для распыления титана производители, поставщики, завод

