Обзор продукта
Мишени для распыления из титанового сплава класса 5 (Ti-6Al-4V, UNS R56400) обеспечивают равномерное осаждение тонких-пленок для промышленных применений PVD-покрытий, требующих высокого соотношения прочности-к весу и коррозионной стойкости. Эти мишени, изготовленные посредством вакуумной индукционной плавки и контролируемой термомеханической обработки, обеспечивают плотную, однородную микроструктуру, что позволяет свести к минимуму образование узелков и искрение во время процессов магнетронного распыления постоянным или радиочастотным током.
Технические характеристики
|
Параметр |
Стандарт спецификации |
|
Состав материала |
Ti: Баланс, Al: 5,5–6,7 %, V: 3,5–4,5 %, Fe<= 0.40%, O <= 0.20% |
|
Чистота |
>= 99.4 % (исключая межстраничные элементы) |
|
Плотность |
>= 4.43 g/cm3 (Theoretical density >= 99%) |
|
Средний размер зерна |
< 100 um |
|
Доступные формы |
Плоский (прямоугольный, круглый, сегментированный), поворотный (цилиндрический) |
|
Размеры |
Специальная-разработка длиной/диаметром до 3000 мм. |
|
Опорные пластины |
Бескислородная-медь (OFC), алюминий 6061 |
|
Методы склеивания |
Индиевая связка, Эластомерная связка, Диффузионная сварка |
Ключевые особенности
Тонкая однородная микроструктура:Равноосная структура зерен предотвращает локализованную аномальную эрозию и уменьшает выброс частиц во время-мощного импульсного магнетронного распыления (HIPIMS).
Высокая плотность:Спечен и кован, чтобы минимизировать внутреннюю пористость, исключить захват газа и загрязнение вакуумной камеры.
Сильная интеграция опорной пластины: Ultrasonic scanning guarantees >= 95% покрытия между плиткой Ti-6Al-4V и медно-алюминиевой подложкой для оптимальной теплопроводности.
Точный контроль размеров:Обработаны с жесткими механическими допусками (от +/- 0.05 мм до +/- 0.1 мм), чтобы соответствовать OEM катодным узлам без изменений.
Приложения
Биомедицинские имплантаты:Износостойкие-биосовместимые тонкие пленки на ортопедических и стоматологических устройствах.
Аэрокосмическая и оборонная промышленность:Защитные эрозионно-стойкие-покрытия на лопатках турбин и крепежных элементах конструкций.
Декоративное оборудование:Прочные,-стойкие к царапинам цветные твердые покрытия (многослойные системы TiN/TiCN/TiAlN) на потребительских товарах и автомобильной отделке.
Исследования, разработки и исследования тонких-пленок:Лабораторное-осаждение для фазовых исследований сплавов и испытаний тонких-пленок полупроводников.
Кастомизация и производство
В производстве используются вакуумно-индукционная плавка (ВИМ), вакуумно-дуговая переплавка (ВДП), горячая ковка и многоосевые станки с ЧПУ, расположенные на территории-завода.
Пользовательские геометрии:Изготавливается по чертежам САПР заказчика, включая ступенчатые кромки, каналы охлаждения и монтажные отверстия с резьбой.
Целевое профилирование:Специально разработанные профили использования магнитов для максимизации целевого срока службы в конкретных конфигурациях магнетронов.
Прототипирование и масштабирование-Увеличение:Гибкое планирование партий позволяет поддерживать как отдельные исследовательские и опытно-конструкторские работы, так и-большие объемы производства.
Контроль качества и сертификаты
Каждая производственная партия проходит тщательную многоэтапную-проверку с использованием специального испытательного оборудования. Отчеты об испытаниях материалов (MTR), соответствующие требованиям EN 10204 3.1, а также листы данных репрезентативной партии доступны для предварительной-проверки [Загрузить образец MTR в формате PDF].
Химический состав:Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой (ICP-MS) и синтез инертных газов для анализа межузельных газов (O, N, H).
Анализ микроструктуры:Оптическая микроскопия и дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD) для проверки размера зерна.
Внутренняя целостность:Ультразвуковое C-сканирование для обнаружения под-пустот, расслоений или несклеенных участков.
Точность размеров:Отчеты о проверке КИМ (координатно-измерительной машины) поставляются с каждой поставкой.
Согласие:Изготовлено в соответствии с системой менеджмента качества ISO 9001:2015.
Упаковка и доставка
Упаковка:Вакуумная-запечатанная в анти-многослойные- полиэтиленовые пакеты с прокладкой из пенопласта высокой-плотности внутри прочных деревянных экспортных ящиков для предотвращения окисления поверхности и ударных повреждений во время транспортировки.
Время выполнения:От 2 до 3 недель для стандартных размеров; От 4 до 5 недель для изделий сложной геометрии или клеевых сборок.
Логистика:Отправляется воздушным или морским транспортом с индикаторами удара и наклона, прикрепленными к ящику.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Как предотвратить образование узелков и образование дуги во время-напыления при высокой мощности?
Ответ: Контроль процесса плавления сырья и последующая многоэтапная -термическая-механическая ковка ограничивают локализованную сегрегацию примесей. Поддержание среднего размера зерна ниже 100 микрометров обеспечивает постоянную скорость эрозии по всей поверхности мишени, подавляя нестабильность плазмы.
Вопрос: Какова максимальная прочность соединения мишеней, установленных на медных опорных пластинах?
Ответ: Методы соединения индия и эластомера обеспечивают прочность на сдвиг, превышающую 10 МПа. Ультразвуковой C-сканирующий контроль проверяет как минимум 95 % несклеенной-площади свободной поверхности, предотвращая локальный перегрев и растрескивание мишени при высокой плотности мощности.
Вопрос: Можете ли вы изготовить сегментированные мишени для линий-покрытия архитектурных покрытий большой площади?
А: Да. Плоские мишени, размеры которых превышают стандартные размеры вакуумной камеры, производятся в виде прецизионных -переплетенных сегментов с допусками на стыки в пределах +/- 0.02 мм для обеспечения непрерывности плазмы.
Вопрос: Какая документация включена в каждую поставку?
О: Каждая партия включает-отчет об испытаниях конкретного материала (MTR), в котором подробно описывается точный химический состав (включая межузельные элементы), измерения плотности, карты ультразвукового сканирования и листы контроля размеров КИМ.
Вопрос: Каков стандартный срок изготовления заказных-круглых или плоских мишеней?
Ответ: Стандартные индивидуальные заказы отправляются в течение 3–4 недель, включая подготовку сырья, прецизионную механическую обработку, склеивание, окончательную проверку и упаковку. Ускоренные запуски доступны в критических ситуациях простоя линии.
Вопрос: Совместимы ли ваши мишени с источниками питания для магнетронного распыления постоянного и радиочастотного тока?
А: Да. Равномерная электропроводность и плотная металлургическая структура обеспечивают стабильную работу в режимах постоянного, импульсного постоянного тока и ВЧ-мощности без микро-дуг.
Запросить цену
Укажите целевые размеры, требования к чистоте, характеристики опорной пластины и расчетный годовой объем, чтобы получить официальное предложение с техническими чертежами в течение 24 часов.
[Отправить запрос предложения / связаться с инженерной группой]
горячая этикетка : Мишени для распыления из титанового сплава 5-го класса, Китай Мишени для распыления из титанового сплава 5-го класса производители, поставщики, завод