Изготовленные на заказ мишени для распыления титана

Изготовленные на заказ титановые мишени для распыления служат-исходным материалом высокой чистоты для систем физического осаждения из паровой фазы (PVD). Эти мишени, предназначенные для полупроводниковых, оптических и износостойких-покрытий, обрабатываются посредством вакуумной индукционной плавки или порошковой металлургии с последующей многопроходной-термо-механической обработкой для получения мелкозернистой равноосной структуры зерен. Доступны в плоской (прямоугольной, круглой) и вращающейся конфигурациях, сочетающихся с медными или алюминиевыми опорными пластинами посредством металлического соединения.

Равномерная микроструктура:Контролируемые термомеханические маршруты устраняют локальные твердые участки, сводя к минимуму образование дуги и образование частиц во время-высокомощного постоянного или высокочастотного распыления.
Низкие примеси газа:Промежуточные элементы (кислород, азот, углерод, водород) строго контролируются при концентрации ниже 500 ppm, чтобы предотвратить охрупчивание пленки и скачки электрического сопротивления.
Надежный термоинтерфейс:Эпоксидное соединение из индия, эластомера или серебра- обеспечивает высокую теплопроводность, предотвращая деформацию и растрескивание мишени под воздействием сильного теплового потока.
Точные допуски на обработку:Фрезерование на станке с ЧПУ обеспечивает жесткие допуски на плоскостность (+/- 0.05 мм) и надежную посадку катода при установке.

Полупроводники и микроэлектроника:Нанесение PVD барьерных слоев, контактных металлов и затравок межсоединений на кремниевые пластины.
Оптические покрытия:Анти-антиотражающие (AR) покрытия, фильтрующие слои и архитектурное стекло с низким-E напылением с помощью магнетронного распыления.
Износостойкие-износостойкие и декоративные:Твердые покрытия TiN, TiAlN и TiCN для режущих инструментов, медицинских имплантатов и оборудования бытовой электроники.
Исследования и разработки:Специальные составы сплавов и размеры зерен специально для университетских и корпоративных лабораторий по производству тонких-пленок.

Мишени создаются непосредственно из файлов САПР заказчика и конкретной геометрии камеры.
Плавление и формование:Вакуумно-индукционная плавка (ВИМ) в сочетании с вакуумно-дуговой переплавкой (ВДП) обеспечивает низкую сегрегацию. Последующая горячая ковка и прокатка разрушаются в виде-литых дендритов.
Возможности обработки:Многоосевое фрезерование на станках с ЧПУ, токарная обработка и проволочная электроэрозионная обработка позволяют обрабатывать детали сложной геометрии, каналы охлаждения с резьбой и особые фаски кромок.
Интеграция опорной пластины:На -собственных предприятиях по склеиванию используется оборудование для вакуумной пайки и прессования для соединения целевых плиток с медными или алюминиевыми трубками-подложками, что проверено с помощью разрушающих испытаний на сдвиг и ультразвукового сканирования.

Каждая партия продукции проходит тщательную проверку перед упаковкой.
Аналитическое тестирование:Отчеты анализа GDMS поставляются с каждой партией для проверки уровней металлических и межузельных примесей.
Не-Неразрушающий контроль (NDT):100% ультразвуковой C-сканирование склеенных узлов обнаруживает внутренние расслоения или пустоты диаметром до 2 мм.
Проверка размеров:Лазерный контроль КИМ фиксирует критические монтажные размеры и плоскостность поверхности.
Соответствие стандартам:Изготовлено в соответствии с системой менеджмента качества ISO 9001:2015.

Вакуумная герметизация:Мишени очищаются, сушатся и герметично запечатываются в антистатические вакуумные пакеты в -чистых помещениях класса 10 000.
Защитная амортизация:Упаковано в изготовленный по индивидуальному заказу-формованный пенополиэтилен высокой-плотности (HDPE) и прочные деревянные ящики для предотвращения царапин на поверхности, сколов по краям и ударов при транспортировке.
Отгрузочная документация:Каждая поставка включает сертификат анализа (COA), паспорт безопасности материала (MSDS) и отчет о проверке размеров.

Укажите целевые размеры, степень чистоты, количество и требования к опорной пластине, чтобы получить официальное техническое предложение и оценку времени выполнения заказа в течение 24 часов.
[Отправить запрос предложения / загрузить чертежи]

горячая этикетка : нестандартные мишени для распыления титана, Китайские мишени для распыления титана на заказ производители, поставщики, завод